CONSTRUCTION CASE

불화수소(HF) GasTiger3000 측정 — 반도체·제철 공정 전용 독성가스 감지기 (경북)

경북 · 2021.07.19

적용 시장

건설 배기

설치 가스

HF(불화수소)

시공 내용

안녕하세요! 브이피이코리아입니다.

불산 또는 불화수소라고 불리는 HF 가스는 독성가스 중에서도 미세한 누출로 치명적인 악영향을 줄 수 있는 매우 위험한 가스입니다.

가스측정기 전문 완디코리아 WANDI®

불산(HF) 가스란?

불산가스는 반도체 웨이퍼 세정 공정에서 대표적으로 많이 사용되고 있으며, 일반적으로 많이 사용되는 에어컨 및 냉동기 냉매가스에도 일부 포함되어 있습니다.

가스측정기 전문 완디코리아 WANDI®

TWA 기준 0.5ppm이기 때문에 아주 저농도의 누출도 조심해야 합니다.

GasTiger3000 — 흡착성 독성가스 전용 측정기

가스측정기 전문 완디코리아 WANDI®

HF 불산가스를 측정할 수 있는 GasTiger3000흡착 성질이 있는 독성가스 측정을 위한 전용 가스측정기입니다.

가스측정기 전문 완디코리아 WANDI®

이번 어플리케이션은 제철 공정에서 작업자의 안전을 지키기 위해 공급된 사례로, 측정 범위는 저농도 누출 감지가 가능한 0~10ppm 센서로 장착하였습니다.

가스측정기 전문 완디코리아 WANDI® 가스측정기 전문 완디코리아 WANDI®

빠른 반응 및 정확한 측정을 위하여 펌프 흡입식 가스 측정기 사용이 적합합니다.

불산가스 외에도 HCl(염화수소), PH₃(포스겐) 등 독성가스 측정이 필요하신 경우 전문가와 상담을 권장합니다.


자주 묻는 질문 (FAQ)

Q1. 불산(HF)이 다른 독성가스보다 특별히 위험한 이유는 무엇인가요?
HF는 TWA 0.5ppm으로 매우 엄격한 노출 기준을 가지며, 피부·점막·눈에 침투하는 흡착성이 강합니다. 특히 고농도에서는 불화이온이 체내에 흡수되어 심장 부정맥, 저칼슘혈증 등 전신 독성을 일으킬 수 있어 소량 노출로도 생명을 위협할 수 있습니다.

 

Q2. GasTiger3000이 일반 가스측정기보다 HF 측정에 적합한 이유는 무엇인가요?
HF는 흡착성이 강해 배관 내벽과 센서 경로에 달라붙어 소실됩니다. GasTiger3000은 센서를 흡입구 최전단에 배치하는 설계로 가스가 센서에 즉시 도달하게 하여 흡착 손실 없이 정확한 측정이 가능합니다.

 

Q3. 제철 공정에서 불산이 발생하는 이유는 무엇인가요?
제철 및 금속 산세 공정에서는 산화막 제거를 위해 불산을 세정제로 사용합니다. 불산 용액을 취급하는 과정에서 HF 가스가 휘발하여 작업자에게 노출될 수 있으므로 공정 구역 전반에 걸친 상시 모니터링이 필요합니다.

 

Q4. 0~10ppm 저농도 범위로 측정하는 이유는 무엇인가요?
HF의 TWA가 0.5ppm이므로 규제 기준값 근처의 미세한 농도 변화를 감지하려면 저농도·고분해능 범위가 필수입니다. 측정 범위가 너무 넓으면 낮은 농도에서의 분해능이 저하되어 위험 수준 조기 감지가 어렵습니다.

 

Q5. HF 외에 GasTiger3000으로 측정할 수 있는 흡착성 독성가스는 무엇인가요?
HCl(염화수소), PH₃(포스겐), NH₃(고농도 암모니아) 등 흡착성이 강한 산성·독성 가스 측정에 동일한 설계 원리가 적용됩니다. 측정 대상 가스에 맞는 전용 센서 선택이 필요하므로 주문 전 전문가 상담을 권장합니다.


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