안녕하세요 레이먼드코리아 입니다.

오늘은 특수가스측정 전용 가스타이거3000을 이용한 불산 가스 측정 기술 소개 입니다.

먼저 불산 이란 주로 반도체 세정이나 반도체 관련 공정에서 사용하는 가스 입니다.

최근에 노노 제팬 이슈가 발생하였을 때 불화수소 가스 자체 개발에 대한 뉴스도

한번쯤은 접해보셨을 겁니다. 불산은 우리나라에서 꽤나 중요한 가스 입니다.

불산은 흡착성, 즉 특정 물체나 신체에 가스가 닿을 경우 흡수되는 성질이 강한 독성가스

입니다. 산업안전보건공단 노출 기준이 0.5ppm 일 정도로 소량만 누출되어도 위험한

가스이기도 합니다.

이 측정기는 가스타이거 3000이란 모델입니다.

HF 불화수소, 즉 불산 가스를 최대 0.00~10ppm 까지 감지가 가능 합니다.

대부분의 가스측정기들은 가스를 측정하는 센서가 본체 내부에 장착되어 있습니다.

그러다 보니 불산처럼 흡착성이 강한 가스는 소량이 누출 시, 본체 내부 센서에 닿기 전

흡입구나 내부의 가스관에 흡착이 되어버려 측정값이 나오지 않는 경우가 많습니다.

이런 점을 보완하고자, 가스타이거3000은 가스센서를 흡입구 바로 앞단에 배치를

하여 설계되었습니다.

흡착성이 강한 불산이나 HCL 같은 가스들을 흡입 후 바로 센서로 전달하여 흡착없이

정확한 농도 측정이 가능 합니다.

특수가스 측정에 특화되어 있어, 특별한 저장기능 없이 단순 측정만 가능한 모델 입니다.

가스측정기관에서 실제 불산가스를 주입하여 테스트한 사진입니다.

불산가스 5ppm 주입하여, 흡착이나 손실 없이 목표 농도인 5ppm측정을 완벽하게

측정하고 있는 사진 입니다.

감사합니다.

[레이먼드] 불산측정기 측정 기술 소개

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